產品詳細參數如下：

鈷鐵鉭鋯合金靶材產品詳情：

　　鈷鐵鉭鋯靶材是由高純鈷、鐵、鉭、鋯經高真空熔煉得到的靶材，該工藝能夠有效控制成品靶材的氧含量，采用特殊的冷卻模具，是合金液體快速冷卻，得到的合金靶材組織結構均勻，成分分布均勻，組織細小，經過高溫高壓致密化處理，使得材料極為致密，這為其濺射出高品質薄膜提供了保障。經過熱處理后，靶材的磁頭率(PTF)顯著提高，鈷鐵鉭鋯靶材沉積的薄膜是垂直磁記錄膜層中重要的軟磁層。

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